Di salên dawî de, teknolojiya Sensor ya Welatê zû zû pêşve diçe, û warên serlêdana wê jî berfireh dibin. Wekî ku celebek herî matmayî ya teknolojiya pîvana nûjen, teknolojiyên nû, materyalên nû û pêvajoyên nû bi berdewamî di warê sensorên zextê de derdikevin holê.
Sensorek zextê amûrek e ku ji bo tespîtkirina nîşanên zextê tê bikar anîn û li gorî hin rêzikan wan li nîşanên elektrîkê veguherînin. Ew bi berfirehî di hilberîna cuda, pîşesazî û aerospace de tê bikar anîn. ° C) dê têkçûn, encama têkçûna pîvana zextê. Ji ber vê yekê, sensoriya zexta germahiya bilind dibe rêgezek pir girîng.
Klasîkirina Sensorên Zexta Germahiya Bilind
Li gorî materyalên cihêreng ên ku têne bikar anîn, sensorên zexta bilind-germahî têne dabeş kirin, senzorên zexta bilind-germahî, SOS (Silicon li ser Sapphire) Sensorên zexta bilind û cûreyên din ên cûda. Rewşa lêkolînê û perspektîfên sensorên zexta bilind-bilind ên Soi pir îdeal in. Ya jêrîn bi piranî sensoriya zexta germahiya soi ya bilind diyar dike.
Soi sensor zexta germahiya bilind
Pêşveçûna Sensorên Zexta Germahiya Soi bi gelemperî li ser rabûna soi-ê ye. Silicon, û pêbaweriya cîhazê baştir dike.
Heya niha, sensorên zexta germahiya Soi bi serfirazî li derve hatine pêşve xistin, û germahiya xebatê -55 ~ 480 ° C Soi. Sensorek zexta germahiya Soi ya ku ji hêla Enstîtuya Leti-ya Fransî ve hatî pêşve xistin jî pir zêde ye. Wekî din, Enstîtuya Lêkolîna Pêşerojê ya Fatri ya Fatri jî xebata lêkolînê ya têkildar e, û projeya niha ketiye qonaxa xwenîşandanê.
Prensîba xebatê ya sensor zexta germahiya bilind
Di prensîbê de, sensorek zexta germahiya Soi bi gelemperî ji bo veguheztina gerîdokan, ku di encamê de guherînek li ser tevgera crystal a silicon tê bikar anîn. Li ser pêlika amûrê ya Soi Top ji bo avakirina Pira Wheatstone wekî ku di Figure 2 (a) de tê nîşandan; Kevneşopek paşîn a zext li ser pêlika substrate ya Soi ye ku avahiyek hesas a zextê ava bike.
Gotin 2 (a) Pira Wheatstone
Dema ku strukturên hesas bi zexta hewayî ve tê, ku di berxwedana guheztina piezoresistor de ye, ku di nav têkiliya voltaja hilberînê û nirxa berxwedanê ya piezoresistor de tê pîvandin.
Pêvajoya çêkirinê ya senzera zexta germahiya soi
Pêvajoya amadekirinê ya sensor zexta bilind-germahiya pir-pir pêvajoyên memsê digire. Hin gavên sereke li vir têne destnîşankirin ku pêvajoya senaryoyê fêm bikin, bi piranî di nav amadekirina amadekirina metal, amadekirina amadekirina fîlimê de, û pakêta zexta zexta.
Mifteya amadekirina varistoran di kontrola domandina doping û xweşbînîkirina pêvajoya moşîna paşîn a paşîn de ye; Pêla pêşeng a metal bi gelemperî wekî girêdana pira genimê xizmet dike; Amadekirina fîlimê hestiyar a zextê bi gelemperî li ser pêvajoya etching ya kûr a kûr ve girêdayî ye; Pakkirina kavilê bi gelemperî li gorî serîlêdana sensorê zextê ve girêdayî ye,
Ji ber ku senzorên zexta bilind a bazirganî ya heyî nekarin hewcedariyên pîvana zextê yên wekî tenduristiya hewayê ya bilind û taybetmendiyên xwe yên taybetî nebûne. Lêkolîna pêşerojê li ser senzorên zexta germahiya Soi divê balê bikişîne ser çareserkirina aramiya dirêj û germkirina sensorên di hawîrdora bilind-bilind de û başkirina rastbûna hestên zextê. aliyek.
Bê guman, serdema serdema hişmendiyê jî hewce dike ku sensên zexta germê ya ku bi teknolojiyên din ên germ, xwe-calibrasyonê re têkildar in, da ku mîsyona zexta jîngehê ya germ-germahî ya berbiçav bistînin. .
Demjimêra paşîn: Feb-13-2023